真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

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旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成，在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片。
旋轉(zhuǎn)時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動。
兩個旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分。當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間A 的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。
而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程，居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程，由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹)氣體壓強(qiáng)降低，泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入。
當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最后與排氣口相通，當(dāng)被壓縮氣體超過排氣壓強(qiáng)時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。
由泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)，達(dá)到連續(xù)抽氣的目的，如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(低真空級)由低真空級抽走，再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵，這時總的壓縮比由兩級來負(fù)擔(dān)，因而提高了極限真空度。
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度，概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。
因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。