真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。
通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
根據(jù)大型真空泵的性能,在各種應(yīng)用的真空系統(tǒng)中它可承擔(dān)如下一些工作。
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1、主泵。在真空系統(tǒng)中,用來獲得所要求的真空度的真空泵。
2、粗抽泵。從大氣壓開始,降低系統(tǒng)的壓力達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵,
3、前級泵用以使另一個(gè)泵的前級壓力維持在其最高許可的前級壓力以下的真空泵。前級泵也可以做粗抽泵使用。
4、維持泵。在真空系統(tǒng)中,當(dāng)抽氣量很小時(shí),不能有效地利用主要前級泵,為此,在真空系統(tǒng)中配置一種容量較小的輔助前級泵,維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。
5、粗(低)真空泵。從大氣壓開始,降低容器壓力且工作在低真空范圍的真空泵。
6、高真空泵。在高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。
7、超高真空泵。在超高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。
8、增壓泵。裝于高真空泵和低真空泵之間,用來提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍內(nèi)的抽氣量或降低前級泵容量要求的真空泵(如機(jī)械增壓泵和油增壓泵等)。